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* 삼성SDI, 무기물 포토레지스트(PR) 개발 착수

- 삼성 SDI가 반도체 초미세 회로 공정에서 게임 체인저 소재로 각광받는 무기물 포토레지스트(PR) 개발에 착수했다. 

- 업계에 따르면 삼성전자는 지난 2일 미국에서 열렸던 세계 최대 광공학회 'SPIE2023'에서 세계 극자외선(EUV)용 PR 동향과 함께 삼성 SDI의 무기물 PR 개발 내용을 언급했다. 

- 삼성전자 측은 이 발표에서 '삼성 SDI가 삼성전자에 여러 차례 무기물PR 샘플 제품을 공급했다'라고 설명했다. 

- 지난 2021년 삼성 SDI 전자재료 사업부가 PR 개발에 뛰어든 소식이 알려진 이후 2년 만에 구체적인 회사 기술 로드맵이 알려졌다. 

무기물 포토레지스트(PR)이란?

- 무기물 포토레지스트란 광화학적 반응에 의해 이미지를 형성하는 레지스트로, 일반적으로 유기물 포토레지스트와는 달리 산화물이나 금속 산화물로 만들 어진 레지스트이다. 

- 이러한 무기물 포토레지스트는 유기물 포토레지스트에 비해 높은 열 안정성, 내구성 및 화학 안정성을 가지며, 고온 및 고압 환경에서도 적용 가능하다. 

- 무기물 포토레지스트 기술은 반도체 제조, 디스플레이 제조, LED 제조 등 다양한 산업 분야에서 적용된다. 

- 예를 들어, 반도체 제조에서는 무기물 포토레지스트를 이용하여 반도체 칩의 회로 패턴을 형성하며, 디스플레이 제조에서는 OLED 디스플레이를 만드는 데 필요한 회로 패턴을 형성하는 데 사용된다. 또한, LED 제조에서는 LED 칩의 발광 부분을 만드는 데 사용된다. 

삼성SDI가 무기물 PR을 차세대 제품으로 점찍은 이유

- 삼성 SDI는 2019년 일본의 EUVPR 수출 규제 이후 삼성전자의 일본산 PR의존도를 낮추기 위해 무기물 포토레지스트 연구를 시작했다. 

- 사업부의 캐시카우인 '스핀-온 하드마스크'라는 소재에 몰린 매출을 분산하려는 목적도 있다. 

- 삼성SDI가 무기물PR을 차세대 제품으로 점찍은 이유는 미래반도체 시장에서 성장 잠재력이 상당한 제품이기 때문이다. 

- 반도체 제조 공정 중 노광 공정에서 반드시 필요한 소재이며, 범용 EUV공정에서도 공정 단순화나 세부 공정 도입에 기여할 수 있다. 

*무기물포토레지스트(PR) 관련주 3 종목

1. 삼성SDI

- 무기물포토레지스트 개발 착수

2. 동진쎄미켐

- 삼성전자에 EUVPR 공급.

- 무기물 PR분야에서 기존 액체 형태 PR이 아닌 '증착' 공정으로 PR을 씌우는 '드라이 레지스트' 분야에 눈독을 들이고 있음. 

- 드라이 레지스트 증착 장비에 공급하는 무기물PR용 전구체(프리커서) 소재 개발하는 중.

3. 영창케미칼

- EUV노광 공정 후 생긴 부산물을 씻겨내는 린스라는 소재를 국산화.

- 무기물PR연구 개발 내용을 기술 로드맵에 올려놓은 것으로 파악.

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